由于等離子體是一種具有很高能量和極高活性的物質(zhì),它對(duì)于任何有機(jī)材料等都具有良好的蝕刻作用,因而在最近幾年也被引用到PCB板制造中來(lái)。

等離子體在PCB板制程中主要有以下作用:
(1)孔壁凹蝕/去除孔壁樹(shù)脂鉆污
對(duì)于一般FR-4多層PCB板制造來(lái)說(shuō),其數(shù)控鉆孔后的去除孔壁樹(shù)脂臟污和凹蝕處理,通常有濃硫酸處理法、鉻酸處理法、堿性高錳酸鉀溶液處理法和等離子體處理法。
但對(duì)于撓性印制電路板和剛-撓性印制電路板去除臟污的處理上,由于材料的特性不同,若采用上述化學(xué)處理法進(jìn)行,其效果是不理想的,而采用等離子體去臟污和凹蝕,可獲得較好孔壁的粗糙度,有利于孔金屬化電鍍,并同時(shí)具有“三維”凹蝕的連接特性。
(2)聚四氟乙烯材料的活化處理
有多種方法可用于聚四氟乙烯材料化學(xué)沉銅前的活化處理,其中等離子體處理法為干法制程,操作簡(jiǎn)便、處理質(zhì)量穩(wěn)定且可靠,適合于批量化生產(chǎn)。而化學(xué)處理法的鈉萘處理液來(lái)講,其難于合成、毒性大,且保質(zhì)期較短,需根據(jù)生產(chǎn)情況進(jìn)行配制,對(duì)安全要求很高。因此,目前對(duì)于聚四氟乙烯表面的活化處理,大多采用等離子體處理法進(jìn)行,操作方便,還明顯減少了廢水處理。
(3)碳化物去除
等離子處理法,不但在各類板料的臟污處理方面效果明顯,而且在復(fù)合樹(shù)脂材料和微小孔除臟污方面更顯示出其優(yōu)越性。除此之外,隨著更高互連密度積層式多層PCB板制造需求的不斷增加,大量運(yùn)用到激光技術(shù)進(jìn)行鉆盲孔制造,作為激光鉆盲孔應(yīng)用的副產(chǎn)物——碳而言,需于孔金屬化制作工藝前加以去除。此時(shí),等離子體處理技術(shù),毫不諱言地?fù)?dān)當(dāng)了其除去碳化物的重任。
(4)PCB板內(nèi)層預(yù)處理

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